半導(dǎo)體生產(chǎn)中的設(shè)備通信與集成

半導(dǎo)體生產(chǎn)主要分為設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)三大流程，在制造和封測(cè)兩個(gè)流程中需要用到大量的生產(chǎn)設(shè)備，包含刻蝕、沉積、清洗、電鍍、封裝、檢測(cè)，等等。目前我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展，生產(chǎn)設(shè)備也實(shí)現(xiàn)了大量的國(guó)產(chǎn)化，技術(shù)實(shí)現(xiàn)方式也在快速發(fā)展中。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造中，生產(chǎn)過(guò)程的管理由MES、EAP等協(xié)同完成，生產(chǎn)管理系統(tǒng)對(duì)設(shè)備實(shí)時(shí)下發(fā)指令，根據(jù)工單、配方來(lái)控制工藝流程。與此同時(shí)，還要從設(shè)備中實(shí)時(shí)獲取各項(xiàng)設(shè)備參數(shù)、指標(biāo)、狀態(tài)等數(shù)據(jù)，獲取設(shè)備發(fā)生的各類報(bào)警信息以及生產(chǎn)過(guò)程中的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等，以便最終對(duì)這些上傳的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，形成批報(bào)，指導(dǎo)生產(chǎn)。

半導(dǎo)體生產(chǎn)制造設(shè)備種類較多，設(shè)備供應(yīng)商也眾多，他們很多與半導(dǎo)體生產(chǎn)制造廠商是不同廠商，因此，這些設(shè)備與制造廠商之間就必須要遵循一定的標(biāo)準(zhǔn)。例如在生產(chǎn)的控制和管理過(guò)程，都要遵循一套半導(dǎo)體行業(yè)規(guī)范，其中就包括了半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備與管控系統(tǒng)的通信標(biāo)準(zhǔn)，也就是SECS/GEM協(xié)議。它規(guī)定了在二者之間通信的統(tǒng)一規(guī)范，包括通信雙方的連接參數(shù)配置，支持的通信功能，通信消息的格式，生產(chǎn)關(guān)鍵步驟的數(shù)據(jù)、狀態(tài)，生產(chǎn)報(bào)警信息，產(chǎn)量和統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，控制信號(hào)的收發(fā)等一系列內(nèi)容。

在這樣的背景下，就要求設(shè)備廠商需要有對(duì)應(yīng)的解決方案來(lái)使產(chǎn)品支持SECS/GEM協(xié)議通信。國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商面臨的選擇，通常就是選用支持SECS/GEM的硬件PLC，或者自行組建研發(fā)團(tuán)隊(duì)嘗試通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)SECS/GEM協(xié)議，前者成本高且品牌受限，后者開發(fā)和維護(hù)人力成本高企且開發(fā)周期長(zhǎng)、存在開發(fā)失敗風(fēng)險(xiǎn)，并且功能的穩(wěn)定性待考驗(yàn)等。

最近國(guó)產(chǎn)SCADA軟件開發(fā)商北京九思易自動(dòng)化軟件有限公司，在SCADA軟件中成功實(shí)現(xiàn)了SECS/GEM協(xié)議，在半導(dǎo)體設(shè)備的原有PLC（不限品牌）與工廠上層系統(tǒng)之間架設(shè)起了一條SECS/GEM的橋梁，也開創(chuàng)了國(guó)產(chǎn)自主SCADA軟件對(duì)半導(dǎo)體專業(yè)協(xié)議的深入支持。易控軟件通過(guò)20年來(lái)的市場(chǎng)應(yīng)用積累，實(shí)現(xiàn)了對(duì)幾十種品牌型號(hào)PLC的通信支持，借此半導(dǎo)體生產(chǎn)制造設(shè)備廠商可以將易控搭載在任何生產(chǎn)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)接入，再通過(guò)易控的SECS/GEM協(xié)議接口，與工廠的上層系統(tǒng)之間實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)和自定義功能的通信與集成，從而使設(shè)備提供商專注于打造滿足終端生產(chǎn)制造工廠功能需求的設(shè)備，又能方便融入半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化管理。選用支持SECS/GEM協(xié)議的SCADA軟件不失為設(shè)備生產(chǎn)廠商和終端生產(chǎn)制造企業(yè)面向未來(lái)降低成本、減少風(fēng)險(xiǎn)的一種明智之選。