【應用案例】華茂總線閥島應用于硅晶片研磨設備

總線閥島 · WELLAUTO

隨著半導體行業(yè)的迅猛發(fā)展，硅片研磨作為制造過程中的關鍵環(huán)節(jié)，其研磨質(zhì)量將直接影響后續(xù)硅片拋光工藝質(zhì)量及拋光工藝的整體效率，因此對設備精度和效率的要求較高?？偩€閥島以其高效、智能的特點，正逐漸成為硅片研磨設備智能化升級的重要推動力。

硅晶片研磨分有單晶底襯研磨和底襯雙面研磨兩種，今天將介紹華茂歐特總線閥島在單晶底襯研磨設備中的應用。

單晶底襯研磨是指對單晶襯底材料進行研磨加工的過程，目的是去除單晶襯底表面的不平整、缺陷和雜質(zhì)，以獲得高度平整、光滑的表面。在半導體材料制造中，單晶襯底是制造芯片的基礎材料，其表面質(zhì)量對后續(xù)工藝和最終芯片的性能有著至關重要的影響。

單晶襯底研磨示意圖

總線閥島在設備中扮演著“搬運工”的角色，研磨前期，控制器使用西門子S7-1200，通過Profinet總線協(xié)議與總線閥島建立通訊連接，然后控制電磁閥，從而實現(xiàn)吸盤對硅晶片的拿取，最終將硅晶片精準送到待研磨區(qū)域。研磨工作完成后，則將成品從工位中取出。其中給吸盤定位的正是多個磁性開關，而在AU7 1123系列總線閥島中帶有16DI，可用于接入限位開關。并帶有16組傳感器供電電源，為此也解決了傳感器供電問題。

AU7 1123系列閥島產(chǎn)品結(jié)構標識如下：

總線閥島強大的擴展能力，支持擴展AU7 500系列臥式模塊：

AU7 1123系列閥島分有8/12/16三種點位規(guī)格，均支持雙閥和單閥，本體集成16DI和16組傳感器供電電源。

目前支持三大品牌九個系列電磁閥

閥島訂貨號：AU7 1123-xxx08-PNT

xxx 表示支持的電磁閥類型

① SY5—SMC SY5X20系列

② SY3—SMC SY3X20系列

③ F14--VUVG-LK14系列（1023系列支持）

④ F10--VUVG-LK10系列

⑤ 4V1--AirTAC 4V1xx-06B系列

⑥ 5V1--AirTAC 5V1xx-06B系列

⑦ 7V1--AirTAC 7V110/120/130-06B系列

⑧ 4V2-- AirTAC 4/5V2xx-06/08B系列

華茂歐特除了常規(guī)款總線閥島，還推出一款經(jīng)濟型總線閥島，本體不帶DI點位，同樣通過WellAUBUS總線支持擴展16個模塊/閥島，支持與1123系列閥島混合擴展。

AU7 1122系列閥島有6/8/12/16/20五種點位規(guī)格，均支持雙閥和單閥安裝。

單晶底襯研磨設備現(xiàn)場圖片