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應(yīng)用設(shè)計

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成功案例 |格創(chuàng)東智OHT天車解決方案,打造頂尖國產(chǎn)自研半導(dǎo)體晶圓搬運系統(tǒng)

成功案例 |格創(chuàng)東智OHT天車解決方案,打造頂尖國產(chǎn)自研半導(dǎo)體晶圓搬運系統(tǒng)

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我國某重要的高端核心電子器件供應(yīng)基地、半導(dǎo)體新器件新技術(shù)創(chuàng)新基地,為提升晶圓搬運效率,支撐半導(dǎo)體生產(chǎn)線的穩(wěn)定、高效運行,決定建設(shè)半導(dǎo)體領(lǐng)域最先進的,具有自主知識產(chǎn)權(quán)、高效穩(wěn)定、智能化程度高的國產(chǎn)自研晶圓搬運系統(tǒng)。

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基于該基地的建設(shè)規(guī)劃及現(xiàn)狀,格創(chuàng)東智從生產(chǎn)效率提升、數(shù)據(jù)安全、緊密空間設(shè)計三個方面進行了詳細的方案設(shè)計,為其提供空中物料傳輸、人機協(xié)同、數(shù)據(jù)傳輸?shù)日w解決方案 :

生產(chǎn)效率提升

通過天車部署安裝,覆蓋對接多機臺復(fù)雜工藝流程間的物料搬送,通過MCS進行全流程的物料自動搬送,彌補了傳統(tǒng)人工搬運在效率、失誤率、潔凈度等方面漏洞。

數(shù)據(jù)安全

針對客戶場景提供定制化網(wǎng)絡(luò)安全方案,保障客戶對天車運行數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性、可行性、安全性。

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緊密空間設(shè)計

系統(tǒng)方案包含自研OHT、OHTC、MCS、異形軌道等,整個AMHS系統(tǒng)包含搬運、通訊、存儲等眾多硬件裝備及其軟件,覆蓋整個半導(dǎo)體前道工序,充分考慮客戶在緊密空間下的物料搬運需求整體解決方案。

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通過構(gòu)建完整的晶圓搬運系統(tǒng),格創(chuàng)東智幫助客戶在空間和設(shè)備利用、運送安全與效率、生產(chǎn)調(diào)度靈活性等方面取得了顯著成效:

1、為客戶提供天花板架設(shè)軌道、采用多層設(shè)計OHB結(jié)構(gòu),充分考慮客戶工廠不同工序間傳送路徑間的配合,優(yōu)化天車傳送路徑,提高客戶整體空間使用率和設(shè)備使用效率。

2、極大地降低晶圓搬運過程搬運震動引發(fā)晶圓破損風(fēng)險,搬運精度控制在±1mm以內(nèi),搬運過程載具振動值<0.5G,關(guān)鍵取放過程實施多重防護,為生產(chǎn)物料及時穩(wěn)定安全運輸保駕護航。

3、有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等軟件傳輸層的數(shù)據(jù),充分考慮生產(chǎn)工藝過程物料運輸?shù)淖顑?yōu)路徑,有效避免擁堵,同時與FAB其他設(shè)備、軟件緊密協(xié)同,通過數(shù)字孿生技術(shù)實現(xiàn)對整廠搬運有效追蹤,為管理者提供了可靠、實時數(shù)據(jù)信息,同時增強了生產(chǎn)調(diào)度的靈活性和響應(yīng)速度。

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王靜
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