RFID在半導(dǎo)體天車(chē)的問(wèn)題解決方案

目前蘇州某科技公司的半導(dǎo)體天車(chē)目前現(xiàn)階段存在問(wèn)題：

（1）傳統(tǒng)8寸晶圓加工過(guò)程中涉及幾十道工序，目前都是采用人工搬運(yùn)，容易產(chǎn)生污染物導(dǎo)致晶圓損壞，速度也比較慢，不良率很高。

（2）在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，天車(chē)需要與多種設(shè)備和工序進(jìn)行協(xié)同與配合。如果不同工序間的協(xié)同不順暢或配合不緊密，可能導(dǎo)致生產(chǎn)效率下降和產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題。

晨控提供的解決方案：

（1）在半導(dǎo)體天車(chē)的行車(chē)軌道節(jié)點(diǎn)上安裝RFID讀寫(xiě)器CK-S650-PA60S，當(dāng)天車(chē)搬運(yùn)FOUP晶圓盒經(jīng)過(guò)軌道節(jié)點(diǎn)時(shí)自動(dòng)識(shí)別晶圓盒內(nèi)的TI標(biāo)簽，確保所搬運(yùn)的晶圓盒信息準(zhǔn)確無(wú)誤。

（2）FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標(biāo)簽，記錄了晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等，在搬運(yùn)過(guò)程中，RFID讀寫(xiě)器會(huì)將讀取到的信息實(shí)時(shí)上傳到管理系統(tǒng)。這樣管理人員可以實(shí)時(shí)掌握晶圓盒的搬運(yùn)情況，并在必要時(shí)進(jìn)行干預(yù)或調(diào)整，從而提高整體的工作效率。

（3）天車(chē)在封閉的軌道內(nèi)運(yùn)行，可以大大減少晶圓暴露在外界環(huán)境中的風(fēng)險(xiǎn)，從而有效避免污染問(wèn)題，提高產(chǎn)品的良率。

晨控CK-S650系列讀寫(xiě)器特點(diǎn)

l 讀寫(xiě)器采用高強(qiáng)度的鋁合金外殼，具有識(shí)別速度快、準(zhǔn)確率高、識(shí)別距離適中、組網(wǎng)方便等特點(diǎn)。

l 豐富的接口和協(xié)議： RS232、RS485、以太網(wǎng)。支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)半導(dǎo)體 HSMS、Modbus TCP 協(xié)議,同時(shí)還支持 1 和 N 協(xié)議。

l 操作方便：設(shè)備外置了三個(gè)模式開(kāi)關(guān)選擇器，方便用戶(hù)直接設(shè)置工作模式、通信速率以及設(shè)備地址。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議，用戶(hù)只需通過(guò) RS232/RS485/以太網(wǎng)通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標(biāo)簽的讀取操作，無(wú)需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。