【應(yīng)用案例】卡裝式IO模塊應(yīng)用于雙面研磨機(jī)

雙面研磨機(jī)用于兩面平行的陶瓷、半導(dǎo)體硅片、計(jì)算機(jī)支架零件等硬脆材料的雙面研磨加工。雙面研磨機(jī)通過用涂上或嵌入磨料的研具對工件表面進(jìn)行研磨加工的磨床。

1、工作原理

雙面研磨機(jī)能夠避免由夾具的粘結(jié)誤差及薄片兩面的應(yīng)力差引起的變形問題。

研磨的工件放在工件行星輪內(nèi)，上下均有研磨盤。研磨墊固定在上研磨盤和下研磨盤的表面，被加工晶片放在由中心齒輪和內(nèi)齒圈組成的差動輪系內(nèi)。研磨壓力則由氣缸加壓上研磨盤實(shí)現(xiàn)。

為減少研磨時(shí)晶片所受的作用力，一般使上研磨盤和下研磨盤分別以大小相等、方向相反的角速度旋轉(zhuǎn)。晶片的運(yùn)動由行星輪帶動，同時(shí)上、下研磨盤研磨壓力的作用下產(chǎn)生自轉(zhuǎn)，因此晶片的運(yùn)動是行星運(yùn)動和自轉(zhuǎn)運(yùn)動的合成運(yùn)動。

2、解決方案

此案例是由PLC+IO模塊+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸的組合實(shí)現(xiàn)精密壓力控制。雙面研磨機(jī)通過主軸驅(qū)動上下兩個(gè)研磨盤旋轉(zhuǎn)，與工件表面形成接觸，使用摩擦磨削的方式實(shí)現(xiàn)對工件表面材料的加工來改善工件的尺寸和表面質(zhì)量。

研磨機(jī)的上盤采用機(jī)械鎖定的防落裝置，確保上盤升起時(shí)取放片操作的安全性。在研磨機(jī)需要監(jiān)控的點(diǎn)位較多且集中的情況下，適用于通過背板總線擴(kuò)展的AUEX卡裝式模塊。

3、應(yīng)用效果

AUEX卡裝式模塊只有耦合器需要負(fù)載和系統(tǒng)兩組電源，擴(kuò)展模塊不需要接電源，更節(jié)省了接線的人工成本。在維護(hù)時(shí)，端子可插拔，無需重新接線；卡裝式安裝，使拆卸模塊更便捷；耦合器自帶硬件撥碼，直接調(diào)節(jié)撥碼設(shè)置站號等都可以縮短停機(jī)時(shí)間。