晶圓制造解決方案之利器 — 中空伺服電機

前言

隨著信息技術的高速發(fā)展，半導體產業(yè)日益成為全球最重要的產業(yè)之一。目前，半導體設備的國產化需求急劇上升，得益于半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家政策的支持。在此大背景下，安川電機深入對半導體設備和工藝的研究，致力于為客戶提供優(yōu)質的解決方案。

半導體制造工藝

半導體工藝流程圖

清洗工藝

清洗工藝貫穿于晶圓制造的整個過程，是保證良品率的關鍵之一。清洗工藝的好壞不僅影響表面的潔凈度，還會對芯片的電學性能、穩(wěn)定性等產生直接影響。

解決方案—中空電機

安川電機針對清洗工藝提出了全新的中空電機方案。

傳統伺服電機結構 VS 中空伺服電機結構

方案優(yōu)勢

1空間優(yōu)化

以往的結構是伺服通過皮帶輪裝置連接中空軸，結構相對復雜，占據空間。通過采用中空伺服電機，可簡化機械結構以實現節(jié)省空間的目的。

2粉塵減少

中空部的轉動軸采用不銹鋼，并選用低發(fā)塵規(guī)格的特殊潤滑脂，有效地減少了粉塵的發(fā)生。

3高速高精度

搭載了24bit高分辨率編碼器，其中SGM7T-08A最大速度可達3000min-1。

中空電機規(guī)格

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