ifm易福門傳感技術賦能半導體智能制造！讓工廠數(shù)據(jù)一目了然！

在半導體行業(yè)飛速發(fā)展的當下，智能制造已成為推動產(chǎn)業(yè)升級的關鍵力量。隨著全球?qū)π酒枨蟮某掷m(xù)增長，半導體制造企業(yè)面臨著如何在提升生產(chǎn)效率的同時實現(xiàn)資源高效利用與可持續(xù)發(fā)展的挑戰(zhàn)。

作為行業(yè)領先的傳感器解決方案供應商，ifm易福門憑借創(chuàng)新技術與智能化應用，為半導體制造的各個環(huán)節(jié)提供了卓越的解決方案，助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程、降低運營成本。

特別是在Sub-fab（工廠輔助設施）流程中，自動化技術的應用正逐漸成為提升效率與可持續(xù)發(fā)展的關鍵。今天，讓我們深入探討ifm如何通過創(chuàng)新解決方案，助力這一領域?qū)崿F(xiàn)降本增效。

一、化學品輸送系統(tǒng)（CDS）

化學品被廣泛用于半導體生產(chǎn)的多個階段，如沉積、光刻膠涂覆、光刻、蝕刻、清洗、薄膜沉積和拋光。為確?；瘜W品的純度，非接觸式液位測量被廣泛用于檢測化學品液位。電容式測量技術只需進行簡單的空罐調(diào)整并輔以實現(xiàn)理想設置的顯示指南，就能克服管道或儲罐壁上的氣泡或附著物所帶來的挑戰(zhàn)。

?KQ10系列 連續(xù)性監(jiān)控液位傳感器：該系列傳感器可安裝在非金屬儲罐外壁，實現(xiàn)料位監(jiān)測。其配備的清晰可見的LED百分比顯示，使用戶能夠輕松掌握液位變化。此外，它還提供三個點料位監(jiān)測位置，可靠區(qū)分空載、滿載和溢流狀態(tài)。

?KI60系列 電容式接近開關：該系列開關可在介質(zhì)內(nèi)或介質(zhì)外運行，透過非金屬儲罐壁進行檢測，有效抑制沉積物的影響。結合IO-Link技術，將點液位檢測系統(tǒng)升級為實時液位狀態(tài)監(jiān)測，為企業(yè)提供更精準的化學品管理。

二、設備健康管理：通過預測性維護提升設備可用性

在半導體制造過程中，真空系統(tǒng)是維持無菌環(huán)境的關鍵支持系統(tǒng)，干式真空泵的穩(wěn)定運行至關重要。ifm通過振動監(jiān)測、流量監(jiān)測和溫度監(jiān)測，為設備健康管理提供了全方位的解決方案：

1.基于振動監(jiān)測的預測性維護：ifm振動傳感器（VSA） 和振動分析模塊（VSE） 可實時監(jiān)測泵的健康狀況，防止增壓泵和干泵發(fā)生災難性故障。通過監(jiān)測沖擊、疲勞、摩擦、嚴重程度和溫度等五個方面的機器問題，以及滾動軸承等特定部件，傳感器能夠提前檢測到即將發(fā)生的故障，減少計劃外停機時間，實現(xiàn)能源優(yōu)化。

2.通過持續(xù)監(jiān)測流量確保適當?shù)睦鋮s效果：冷卻水用于散發(fā)泵內(nèi)壓縮過程中產(chǎn)生的熱量。ifm的SU超聲波流量計 采用無機械部件的設計，提供高精度測量，最大限度地減少壓降，確保冷卻工藝的高效運行。

3.通過連續(xù)測量溫度保持泵的功能：泵的外殼溫度升高通常表明摩擦增加，可能導致泵故障。ifm的TP  + TS 分體式測溫方案可對泵體表面溫度進行實時監(jiān)測，避免因溫度異常導致的停機時間。

通過IO-Link技術，所有傳感器采集的數(shù)據(jù)可實時發(fā)送到更高層級的軟件系統(tǒng)，實現(xiàn)趨勢預測和分析，為企業(yè)提供實時的設備健康監(jiān)測。

三、超純水系統(tǒng)的智能化管理

超純水是半導體生產(chǎn)中的關鍵資源，因為即使是微小的雜質(zhì)也會導致重大的生產(chǎn)損失，導致數(shù)百小時的半導體晶圓生產(chǎn)無效。ifm為超純水系統(tǒng)的各個環(huán)節(jié)提供了智能化監(jiān)測解決方案：

1.通過電導率測量確保水質(zhì)：ifm的LDL電導率傳感器 是一種高性價比的解決方案，能夠?qū)崟r監(jiān)測水中低至0.04μS/cm的電導率，確保供水系統(tǒng)的穩(wěn)定和高效運行，指導凈化工藝的調(diào)整。

2.超純水出水管 | 產(chǎn)出流量監(jiān)測：SU Puresonic超聲波流量傳感器 采用超聲波技術，可精確測量高達1000L/min的超純水流量，并集成溫度測量功能，提供高度準確的在線測量過程，確保工藝的一致性和產(chǎn)品質(zhì)量。

3.通過高準確度液位測量改善水的分配：ifm的LW非接觸式雷達液位傳感器 采用80 GHz測量技術，可對高達10米的儲罐進行高精度測量（±2 mm），確保資源的可用性、防止干轉并優(yōu)化水的利用率，避免因液位監(jiān)測不準確導致的系統(tǒng)故障。

此外，ifm傳感器產(chǎn)品在晶圓加工、CMP工藝以及內(nèi)物流都有廣泛應用。

如果您希望了解更多ifm產(chǎn)品在半導體行業(yè)的應用，請點擊??官網(wǎng)鏈接查看 

也歡迎聯(lián)系ifm的技術團隊：400-880-6651

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