中電華星CES系列7000W高可靠工業(yè)電源：以“芯”驅(qū)動(dòng)光刻機(jī)精密馬達(dá)，賦能半導(dǎo)體制造“極細(xì)線”時(shí)代

引言：光刻機(jī)的“心臟”之戰(zhàn)

在半導(dǎo)體制造的“摩爾定律”賽道上，光刻機(jī)是突破8nm工藝節(jié)點(diǎn)的核心裝備。而私服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電源作為光刻機(jī)晶圓傳輸、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的“動(dòng)力心臟”，需在微秒級(jí)精度控制、毫伏級(jí)電壓穩(wěn)定性、連續(xù)72小時(shí)無故障運(yùn)行的極端條件下，保障價(jià)值數(shù)十億美元的設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。 

華星CES系列7000W高可靠工業(yè)電源以三相380VAC輸入、48VDC輸出、2U超緊湊設(shè)計(jì)為核心優(yōu)勢(shì)，成功應(yīng)用于上海某頭部光刻機(jī)企業(yè)，助力其實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)效率提升20%、年度故障停機(jī)減少75%的突破，為國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈注入高可靠電力動(dòng)能。 

破解光刻設(shè)備供電三大“生死局”

電壓“蝴蝶效應(yīng)”？毫秒級(jí)穩(wěn)壓技術(shù)筑牢精密控制

動(dòng)態(tài)負(fù)載補(bǔ)償算法：在晶圓高速移動(dòng)場(chǎng)景下，實(shí)時(shí)補(bǔ)償負(fù)載突變，輸出電壓波動(dòng)≤±0.1%（行業(yè)平均±0.5%），確保光刻機(jī)伺服馬達(dá)定位精度達(dá)±5nm； 

雙冗余電源架構(gòu)：主備電源無縫切換時(shí)間<10ms，避免單點(diǎn)故障導(dǎo)致整臺(tái)光刻機(jī)停機(jī)，年故障恢復(fù)時(shí)間縮短90%。 

空間與效能的“終極博弈”？2U高度定義緊湊化新標(biāo)桿 

功率密度4kW/U：體積僅450*210*80mm（2U），較傳統(tǒng)方案節(jié)省60%安裝空間，適配光刻機(jī)機(jī)臺(tái)狹小供電艙； 

6%峰值效率：采用SiC碳化硅器件與數(shù)字PFC技術(shù)，年節(jié)能達(dá)1500kW·h（以單機(jī)24小時(shí)運(yùn)行測(cè)算），助力客戶實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo)。 

長(zhǎng)期可靠性“達(dá)摩克利斯之劍”？軍工級(jí)驗(yàn)證體系護(hù)航 

100G機(jī)械振動(dòng)測(cè)試：通過MIL-STD-810H標(biāo)準(zhǔn)，適配光刻機(jī)高頻振動(dòng)環(huán)境； 

-40℃~+100℃寬溫運(yùn)行：無懼東北極寒與東南亞濕熱氣候，MTBF（平均無故障時(shí)間）突破10萬小時(shí)； 

三重EMC防護(hù)：傳導(dǎo)騷擾（CE）與輻射騷擾（RE）指標(biāo)優(yōu)于CISPR35 Class A，杜絕光刻機(jī)信號(hào)干擾。 

上海光刻機(jī)企業(yè)標(biāo)桿案例：從“卡脖子”到“中國芯”

客戶痛點(diǎn)： 

原進(jìn)口電源因體積大、效率低，導(dǎo)致光刻機(jī)供電系統(tǒng)臃腫，占機(jī)臺(tái)空間30%，且年均故障率高；電壓瞬態(tài)波動(dòng)引發(fā)馬達(dá)抖動(dòng)，影響光刻層厚精度，良率損失大。 

中電華星解決方案： 

定制化輸出特性開發(fā)：針對(duì)光刻機(jī)多階段運(yùn)動(dòng)模式（粗定位、精對(duì)準(zhǔn)、曝光），優(yōu)化PWM控制算法，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)輸出響應(yīng)速度至1ms級(jí)； 

分布式散熱設(shè)計(jì)：結(jié)合熱管與自然對(duì)流，實(shí)現(xiàn)滿載下機(jī)內(nèi)溫度≤70℃，避免高溫導(dǎo)致的電子元件老化； 

全生命周期服務(wù)：提供“晶圓廠級(jí)”現(xiàn)場(chǎng)支持，工程師駐場(chǎng)優(yōu)化供電拓?fù)?，承諾48小時(shí)備件送達(dá)。 

成果數(shù)據(jù)： 

連續(xù)運(yùn)行1年零計(jì)劃外停機(jī)，光刻機(jī)稼動(dòng)率提升至99.6%； 

層厚控制精度提升至±0.8nm（行業(yè)平均±1.2nm），良率提高5%； 

單臺(tái)光刻機(jī)年節(jié)省用電成本超20萬元，助力客戶入選“國家級(jí)綠色工廠”。 

為何CES系列7000W成為光刻機(jī)行業(yè)“中國芯”？

國產(chǎn)化替代里程碑：100%核心元器件國產(chǎn)化，突破海外芯片封鎖，供貨周期縮短60%； 

智能物聯(lián)賦能：支持Modbus TCP/IP協(xié)議，實(shí)時(shí)上傳電源狀態(tài)數(shù)據(jù)至MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與預(yù)測(cè)性維護(hù)； 

生態(tài)化服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：聯(lián)合國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，提供“電源+驅(qū)動(dòng)”一體化解決方案。 

客戶證言：用光刻機(jī)良率說話

華星的7000W電源不僅是供電設(shè)備，更是光刻工藝的‘穩(wěn)定器’。在節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)中，它讓我們實(shí)現(xiàn)了‘零電壓漂移’的奇跡?！?nbsp;

——上海某光刻機(jī)企業(yè)首席工程師 

即刻行動(dòng)，搶占半導(dǎo)體設(shè)備“芯”機(jī)遇 

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中電華星電源——以中國智造之力，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)注入‘芯’動(dòng)能！

在光刻機(jī)走向“極紫外”時(shí)代的征程中，華星電源始終是您最可靠的“電力合伙人”。