德國Aerolas 空氣軸承
2005/7/8 16:05:00
產(chǎn)品簡介:
產(chǎn)品分類:
品牌:
易帝
產(chǎn)品介紹
超精密二維測量平臺
應(yīng)用范圍: 半導(dǎo)體技術(shù)
應(yīng)用: 測量孔的通否/過光
行程: 340 mm x 330 mm
絕對定位精度: < 10 nm (全程范圍內(nèi))
驅(qū)動方式: 磨擦輪驅(qū)動
最大加速度: 0.25 m/s²

高動態(tài)直線電機
采用AeroLas的空氣軸承可以使直線電機有極其高的精度和高動態(tài)特性:實際加速度達到400 m/s2 (理論上可達 1.000.000 m/s2).
應(yīng)用于齒輪測量,幾年來已連續(xù)運行60億次以上
行程: 100 mm
負載:2 kg

高加速度雙軌式直線電機
截面:500 mm x 250 mm),加速度達300 m/s2且精密定位。 采用空氣軸承,受溫度變化影響小,電纜不動,行程: 150 mm
負載:10 kg
最大加速度: > 300 m/s2
最大速度: 4.7 m/s

應(yīng)用范圍: 半導(dǎo)體技術(shù)
應(yīng)用: 測量孔的通否/過光
行程: 340 mm x 330 mm
絕對定位精度: < 10 nm (全程范圍內(nèi))
驅(qū)動方式: 磨擦輪驅(qū)動
最大加速度: 0.25 m/s²

高動態(tài)直線電機
采用AeroLas的空氣軸承可以使直線電機有極其高的精度和高動態(tài)特性:實際加速度達到400 m/s2 (理論上可達 1.000.000 m/s2).
應(yīng)用于齒輪測量,幾年來已連續(xù)運行60億次以上
行程: 100 mm
負載:2 kg

高加速度雙軌式直線電機
截面:500 mm x 250 mm),加速度達300 m/s2且精密定位。 采用空氣軸承,受溫度變化影響小,電纜不動,行程: 150 mm
負載:10 kg
最大加速度: > 300 m/s2
最大速度: 4.7 m/s


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