萊茵超精密二維測量平臺
2006/3/6 17:42:00
產(chǎn)品簡介：
與世界最著名的德國空氣軸承生產(chǎn)商Aerolas公司合作為幾個電子行業(yè)領袖企業(yè)生產(chǎn)的設備。
產(chǎn)品分類：運動控制 運動機械部件
品牌：易帝
產(chǎn)品介紹
應用范圍: 半導體
技術應用: 測量孔的通否/過光
行程: 340 mm x 330 mm
絕對定位精度: < 10 nm （全程范圍內(nèi)）
驅(qū)動方式: 磨擦輪驅(qū)動
最大加速度: 0,25 m/s²
技術應用: 測量孔的通否/過光
行程: 340 mm x 330 mm
絕對定位精度: < 10 nm （全程范圍內(nèi)）
驅(qū)動方式: 磨擦輪驅(qū)動
最大加速度: 0,25 m/s²
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